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JSM-7610FPlus 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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產品簡介

JSM-7610FPlus,用于納米科學的肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡, 是一款采用半浸沒式物鏡、擁有超高分辨率的場發(fā)射掃描電子顯微鏡,能觀察微細結構和進行微區(qū)元素分析。

詳細介紹

JSM-7610FPlus,用于納米科學的肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡, 是一款采用半浸沒式物鏡、擁有超高分辨率的場發(fā)射掃描電子顯微鏡,能觀察微細結構和進行微區(qū)元素分析。

技術指標:

特點

半浸沒式物鏡

超高空間分辨率(1 kV 1.0 nm、15 kV 0.8 nm)

利用新一代r-過濾器選擇能量

自由選擇二次電子和背散射電子

利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像

選擇通道襯度和來自樣品表面的信息

浸沒式肖特基電子槍

提供分析時需要的大電流(200 nA 15 kV),壽命長(發(fā)射體保證3 年)

豐富的附件

可以安裝EDS、WDS、STEM、CL 等多種附件

半浸沒式物鏡的示意圖

半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場,因而可以獲得超高分辨率。

超高分辨率觀察實例

柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

柔和電子束模式(GB 模式)通過給樣品施加負電壓,從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓,因此可以在低加速電壓下( 100 V)進行高分辨觀察。

由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小,就會容易地觀察樣品淺表面的精細結構,能減少對熱敏樣品的損傷,可以直接觀察非導電性樣品。

JSM-7610FPlus 在 GB 模式下(1 kV)的分辨率為 1.0 nm。

GB 模式的效果

GB 模式在低電壓下提高分辨率

增強了的低加速電壓下的分辨率


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