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NanoCalc薄膜反射光譜儀系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)NanoCalc

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薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以用來(lái)進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測(cè)量,對(duì)單層...

詳細(xì)介紹

NanoCalc 薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)

      薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以用來(lái)進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測(cè)量,對(duì)單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測(cè)量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。


     的兩種測(cè)量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測(cè)量、橢圓光度法測(cè)量。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測(cè)量。


技術(shù)參數(shù)

入射角

90°

層數(shù)

3層以下

需要進(jìn)行參考值測(cè)量

是

透明材料

是

傳輸模式

是

粗糙材料

是

測(cè)量速度

100ms - 1s

在線監(jiān)測(cè)

可以

公差(高度)

參考值測(cè)量或準(zhǔn)直(74-UV)

公差(角度)

參考值測(cè)量

微黑子選項(xiàng)

配顯微鏡

顯示選項(xiàng)

配顯微鏡

定位選項(xiàng)

6"和12" XYZ 定位臺(tái)

真空

可以

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