Fluence公司的Jasper X1是一款高性能飛秒激光系統(tǒng),可為要求苛刻的應(yīng)用提供的靈活性和精度。它具有擴(kuò)展的脈沖串長度和靈活的包絡(luò)調(diào)整(自定義包絡(luò)脈沖串-CEB),以及高達(dá)20ps的可調(diào)脈沖持續(xù)時(shí)間??舍槍?duì)各種材料和應(yīng)用進(jìn)行精確的工藝開發(fā)和優(yōu)化。
憑借的按需脈沖(APoD)和納秒級(jí)抖動(dòng),Jasper X1提供了的脈沖定時(shí)精度,是增強(qiáng)邊緣清晰度、拐角處理和占空比的理想選擇。Jasper X1是一個(gè)堅(jiān)固的全光纖無SESAM系統(tǒng),可確保一致性、長期穩(wěn)定性和真正的無維護(hù)24/7運(yùn)行。
特點(diǎn):
? 經(jīng)過驗(yàn)證的穩(wěn)定性和的使用壽命,平均功率高達(dá)60 W
? 脈沖能量高達(dá)200µJ
? <270 fs–20="">270>
? 得益于全光纖結(jié)構(gòu),光束質(zhì)量
? 高級(jí)按需脈沖和定制包絡(luò)脈沖,脈沖數(shù)高達(dá)80個(gè)
? 瞬時(shí)外部觸發(fā),使系統(tǒng)精度提高100倍
? 振蕩器提供5年保修,整套激光器提供2年保修作為標(biāo)準(zhǔn)

型號(hào) | JX30-100 | JX30-200 | JX30-200P | JX60-200 | JX60-200P |
中心波長 | 1030±5nm |
平均功率 | 30W(1) | 60W |
脈沖能量 | 100µJ | 200µJ | 200μJ |
標(biāo)準(zhǔn)重頻(PRR) | 300 kHz | 150 kHz | 300 kHz |
脈沖寬度 | <270>270>(2) |
調(diào)諧范圍 | <>–8ps | <270 fs-20="">270> |
重頻范圍(PRR) | 單發(fā)至20 MHz(3) |
按需脈動(dòng) PRR/抖動(dòng) | 標(biāo)準(zhǔn) (基于脈沖選擇器) | 高級(jí)(4) 1MHz/<> | 標(biāo)準(zhǔn) (基于脈沖選擇器) | 高級(jí)(4) 1MHz/<> |
爆發(fā)能量 | 100µJ(5) | 300µJ | 400µJ |
MHz突發(fā)模式下的脈沖數(shù) | 2–80 | 2–80 | 2–12 | 2–80 | 2–12 |
定制包絡(luò)突發(fā) | 可選 | 包含 | - | 包含 | - |
光束質(zhì)量,M2 | <>(典型值為1.1) |
光束圓度 | >87% |
光束發(fā)散角 | <1>1> |
光束直徑 | 2.5±0.5mm(7) |
偏振, PER | 垂直,PER>28 dB |
光束指向穩(wěn)定性 | <>µrad/°C |
長期功率穩(wěn)定性 | <0.5% @="">0.5%>(8) |
脈間能量穩(wěn)定性 | <1% @="">1%>(8) |
觸發(fā) | 外部/內(nèi)部 |
脈沖控制 | 內(nèi)部/外部模擬功率調(diào)制、脈沖選擇器、突發(fā)模式、自定義包絡(luò)突發(fā)(CEB) |
選項(xiàng) | 諧波模塊–515 nm、343 nm、257 nm(自動(dòng)選擇)。自動(dòng)機(jī)械快門 |
冷卻 | 水冷 |
控制接口 | GUI(USB)/SCPI(RS232)/TTL(BNC)/模擬(BNC) |
激光頭尺寸重量 | 1096 x 446 x 100 mm(L x W x H), 50kg |
電源尺寸重量 | 3U, 19":376 x 485 x 133 mm(L x W x H),13kg |
激光頭安裝選項(xiàng) | 水平/垂直 |
工作環(huán)境溫度 | 15–30 ℃ |
相對(duì)濕度 | 10-80%(不凝結(jié)) |
注:
1. 作為標(biāo)準(zhǔn)配置,將交付大于28 W的功率。>30W將根據(jù)要求交付。
2. 典型值小于240 fs。
3. 脈沖重復(fù)頻率:20.0±0.5 MHz。脈沖拾取高達(dá)2 MHz。在高級(jí)脈沖按需版本中,在穩(wěn)定能量模式下,脈沖可以從外部觸發(fā)高達(dá)1.0 MHz。
4. PRR限值:1000±60 kHz。在高達(dá)1.0 MHz的波動(dòng)PRR下實(shí)現(xiàn)恒定脈沖能量(穩(wěn)定能量模式)(增強(qiáng)拐角處理和提高材料上的脈沖定位精度)。微加工系統(tǒng)中的恒定脈沖間距,提供定位同步輸出(PSO)。
5. 在高能爆發(fā)模式(HEB)下可用,PRR降低到標(biāo)稱PRR以下。HEB可根據(jù)要求提供JX30-100 vartiant。
應(yīng)用:
微電子
微機(jī)械加工
制造
表面工程
材料兼容性
