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凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司


RTA系列快速熱退火爐

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產(chǎn)品型號RTA

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間:2026-06-22 07:46:16瀏覽次數(shù):41次

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商鋪產(chǎn)品:43條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:Vicky

產(chǎn)品簡介

詳細介紹

RTA系列快速熱退火爐

RTA系列可處理2~12 英寸(50~300mm)的樣品,10s內(nèi)即可到設(shè)置的退火溫度。

該爐體采用水冷壁的結(jié)構(gòu),結(jié)合紅外加熱的高能量密度,近紅外的波長快速升溫特點,搭配高精度,快速響應(yīng)的溫控器進行精確溫度控制。

RTA系統(tǒng)可滿足用戶對于工藝配方的控制(溫度控制,升降溫速率控制,氣氛及氣體流量控制等)。RTA系統(tǒng)有助于找到的熱處理方式

應(yīng)用

· 離子注入后的活化退火

· 沉積氧化膜的退火

· 歐姆電極合金化

· PZT,SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

· 硅化物及自對準硅化物的生成

· 發(fā)光元件,半導(dǎo)體激光基板的熱處理

· 超淺結(jié)的生成

· 鐵電電容器沉積

· 柵氧化膜的生成

特點:

· 升溫速率可達200℃/s

· 可搭配自動傳樣機器人

· 可連接半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 各個加熱區(qū)的燈管功率單獨可控,可以對不同尺寸的樣品實現(xiàn)均勻加熱

參數(shù):

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