本裝置采用掃描激光加熱交流法測量薄膜,薄板,薄膜等薄板材料的面內方向熱擴散率。
對于高導熱膜,亞微米薄膜的測量也是可能的。
用途
• CVD金剛石,氮化鋁等高熱導率薄板(厚度<500μm)的熱擴散系數(shù)/熱導率測量
• 銅、鎳、不銹鋼等各種金屬薄板(厚度>5μm)的熱擴散率/熱導率測量
• 玻璃和樹脂材料等低熱導率薄板材料(厚度<500μm)的熱擴散率/熱導率測量
• 具有各向異性的高熱導率石墨片(厚度)<100μm)、聚合物薄膜,如聚酰亞胺和PET(厚度>5μm)的熱擴散率/熱傳導率測量
• 在玻璃基板(厚度為30μm)上形成的氮化鋁薄膜和氧化鋁薄膜(厚度為100-300nm)的熱導率測量
• 玻璃基板(厚度0.03 mm)上形成的DLC薄膜(厚度>1μm)的熱導率測量
• PET基片(厚度0.1 mm)上形成的有機染料薄膜(厚度100~300 nm)的熱導率測量
• 濺射用各種靶材的評價
*測量條件隨材料和物理性質值而變化。記載的條件是目標。
特長
• 從金剛石到聚合物的寬范圍薄板材料的面內方向熱擴散系數(shù)測量
• 適用于厚度為3至500μm的自支撐片材、薄膜、線材和纖維等多種材料形式
• 可以通過差示法測量在襯底上形成的100nm至1000nm厚的薄膜的熱導率 *僅在室溫下
• 易于測量
• 通過專用軟件進行控制、測量和分析
• 機身將所有光學、控制、測量系統(tǒng)緊湊地一體化
參數(shù)
| 型式 | LaserPIT-R | LaserPIT-M2 |
| 溫度范圍 | RT | RT ~ 200℃ |
| 交流電源 | 激光二極管(685nm,30mW) |
| 樣品尺寸 | 自支撐薄板:寬2.5-5mm×長30mm×3-500μm厚 基片上的薄膜:寬2.5至5mm×長30mm×厚100nm至1000nm |
| 測量周期 | 0.05 ~ 10/s |
| 原理圖 | 真空中 |
原理圖
配置
薄膜熱導率的測量方法(示差法)
LaserPIT使用玻璃基板來測量薄膜的熱導率。通過只在1個玻璃基板的半表面成膜薄膜的方法,測量玻璃基板的成膜區(qū)域和非成膜區(qū)域。
根據(jù)“兩個區(qū)域的測量結果”“玻璃基板的厚度和體積比熱容”“薄膜的厚度和體積比熱容”來評估薄膜的熱導率。
