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芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)

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芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu) P83系列壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭是將標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的位移,測(cè)微頭的分辨率是10μm，再通過控制驅(qū)動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長(zhǎng)或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，

詳細(xì)介紹

芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)P83系列壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭是將標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的位移,測(cè)微頭的分辨率是10μm，再通過控制驅(qū)動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長(zhǎng)或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達(dá)20μm,壓電陶瓷運(yùn)動(dòng)的分辨率可＜1nm，這個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭可以對(duì)元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)P84系列壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭是將測(cè)微頭與高分辨率的壓電陶瓷結(jié)構(gòu)相結(jié)合，通過手動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)大范圍的位移, 再通過控制驅(qū)動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長(zhǎng)或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達(dá)110μm, 壓電陶瓷運(yùn)動(dòng)的分辨率達(dá)2.5nm，測(cè)微頭的分辨率是10μm，整體結(jié)構(gòu)可以對(duì)元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	P84.X100S P84.X100K	P83.X25S P83.X25K	單位
運(yùn)動(dòng)自由度	X	X
傳感器類型	SGS	SGS
標(biāo)稱行程范圍（0 ~+120 V）	80	20	µm±20%
zui大行程范圍（-20 ~+150 V）	110	28	µm±20%
測(cè)微頭行程	13	13	mm
分辨率	7，2.5	1.5，0.5	nm
測(cè)微頭分辨率	10	10	um
閉環(huán)線性度	0.15	0.2	%F.S.
重復(fù)定位精度	0.05	0.1	%F.S.
推/拉力	16，4	20，5	N
剛度	1	2	N/mm±20%
靜電容量	1.8	1.8	μF±20%
材質(zhì)	鋼、鋁	鋼
重量	0.1	0.1	Kg±5%
出線長(zhǎng)	1.5	1.5	m±10mm