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深圳市萬德泉科技有限公司


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BPG400 Bayard-Alpert皮拉尼復(fù)合真空計

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更新時間：2023-02-22 19:10:52瀏覽次數(shù)：404次

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商鋪產(chǎn)品：26條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：簡俊勇

產(chǎn)品簡介

BPG400 Bayard-Alpert皮拉尼復(fù)合真空計BPG400 大氣壓至超高真空真空計 INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。 多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。 選擇BPG400真空計，價格經(jīng)濟(jì)，且可重復(fù)測量基準(zhǔn)壓力。市場價： 0.00價格：0.00產(chǎn)品描述：： 大氣壓至超高真空真空計 型號： BPG400 ......

詳細(xì)介紹

BPG400 大氣壓至超高真空真空計


INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從
5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。 多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。
選擇BPG400真空計，價格經(jīng)濟(jì)，且可重復(fù)測量基準(zhǔn)壓力。


益處

  • 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
  • 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
  • 使用壽命長的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
  • RoHS 合規(guī)
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

典型應(yīng)用

  • 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

零件號

BPG400
零件號 明細(xì)
353-500 BPG400 規(guī)管
353-500-11 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0 BPG400規(guī)管
353-502-A BPG400規(guī)管
354-498 Spare electronic BPG400 without Display
354-499 Spare electronic BPG400 with Display
353-501 BPG400 規(guī)管
353-502 BPG400 規(guī)管
353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505 復(fù)合真空規(guī)
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

規(guī)格

類型 BPG400
測量范圍（空氣、O2、CO、N2） mbarTorr 5×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重復(fù)性
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓力， bar (absolute) 2
溫度
運行（環(huán)境） °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤，有延伸件 °C 150
在法蘭處烘烤，無延伸件 °C 80
移除烘烤電子設(shè)備 °C 150
電源電壓 V (dc)A (dc) +20 … +28
輸出信號模擬
輸出信號 V 0 … +10
測量范圍 V +0.774 … +10
電壓與壓強(qiáng) volts per decade 0.75
錯誤信號 V 0.3 / 0.5
最小負(fù)載電阻 k? 10
接口（數(shù)字）(2) RS232C
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護(hù)等級 IP30
Profibus DP
波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點繼電器： 設(shè)定點數(shù)量 2
設(shè)定點繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設(shè)定點繼電器： 繼電器觸點 n.o., potential free
設(shè)定點繼電器： 滯后 % of reading 10
設(shè)定點繼電器： 觸點額定值 V (dc)A (dc) 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設(shè)定點繼電器： 設(shè)定點數(shù)量 2
設(shè)定點繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設(shè)定點繼電器： 繼電器觸點 n.o., potential free
設(shè)定點繼電器： 滯后 % of reading 10
設(shè)定點繼電器： 觸點額定值 V (dc)A (dc) 60
DeviceNet™ 電源電壓 V (dc)A (dc) +11 … +25
真空計電源電壓 V (dc)A (dc) +20 … +28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器 D-Sub, 15-pin, male

1) 除氣期間降低精度

2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允許使用現(xiàn)場總線

3) 適用于 RS232C 運行 <30m


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