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WH-XY-01 顯影機

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更新時間：2023-02-06 17:44:40瀏覽次數(shù)：875次

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產(chǎn)品簡介

顯影機可以對 7 英寸及以下規(guī)格的硅片進行程控式自動化顯影，實現(xiàn)了顯影液的量和顯影時間可控，確保顯影穩(wěn)定性......

詳細介紹

1. 產(chǎn)品簡介

顯影機（WH-XY-01）是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨立知識產(chǎn)權的一款產(chǎn)品，針對光刻工藝中的顯影過程而設計開發(fā)的，可以對 7 英寸以下規(guī)格的硅片進行程控式自動化顯影。該設備可替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環(huán)節(jié)，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控，上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。

顯影機（WH-XY-01）詳細說明書下載

顯影機主要特點如下：

1）顯影池搖晃震蕩頻率可設定,保證顯影液與硅片等接觸充分，提高顯影效果與質量；

2）可根據(jù)顯影的載體進行精確設定顯影托盤升降位置，從而確定顯影液的進入添加量，避免顯影液的浪費；

3）顯影液可以自動添加與排放，靈活更換；

4）友好的人機界面設計，保證操作人員的使用體驗與安全；

5）便攜性好，方便在實驗室移動；

6）腔體為SUS304材料的耐腐蝕腔體。

2. 技術參數(shù)

震蕩方向：順時針/逆時針；

轉速：10～300RPM ；

液量控制：50～500mL ；