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光刻膠/顯影液/剝離液

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產品簡介

光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種對光敏感的混合液體。其組成部分包括:光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產酸劑)、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。在紫外光等光照或輻射下,溶解度會發(fā)生變化的薄膜材料。AZ4562正性厚光刻膠,具有粘附力,在普通濕法蝕刻和電鍍工藝中具有粘附力,廣泛應用于半導體行業(yè)。AZ5214這種特殊的光刻膠用于需要負壁輪廓的剝離技術(lift-of工藝)。由酚醛清漆樹脂和萘醌二疊氮化物作為光敏化合物(PAC)組成的正性光致抗蝕劑,它們也可反轉成負膠,從而產生的掩模。SU-82000系列環(huán)氧型樹脂的負性光刻膠,SU-82000化學放大,i線抗蝕劑非常適合制造性器件結構。這些負色調,環(huán)氧基抗蝕劑表現出優(yōu)異的耐化學性和低的楊氏模量,使其成為制造微/納米結構的理想選擇,如懸臂,膜和微通道。SU-83000系列已被配制用于改進的粘合性和降低的涂層應力。它被用于需要高結合強度和改進的微結構制造柔性的地方,用于微流控/MEMS微納工藝,大大提高了與基板的粘合性。mr-NIL210有機可光固化的NIL抗蝕劑,具有出色的干法刻蝕特性。它具有出色的固化和納米壓印性能,特別適用于使用軟印模材料(例如PDMS)的軟NIL。mr-I......

詳細介紹

光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種對光敏感的混合液體。其組成部分包括:光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產酸劑)、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。在紫外光等光照或輻射下,溶解度會發(fā)生變化的薄膜材料。


AZ 4562

正性厚光刻膠,具有粘附力,在普通濕法蝕刻和電鍍工藝中具有粘附力,廣泛應用于半導體行業(yè)。


AZ 5214

這種特殊的光刻膠用于需要負壁輪廓的剝離技術(lift-of工藝)。由酚醛清漆樹脂和萘醌二疊氮化物作為光敏化合物(PAC)組成的正性光致抗蝕劑,它們也可反轉成負膠,從而產生的掩模。


SU-8 2000系列

環(huán)氧型樹脂的負性光刻膠,SU-8 2000化學放大,i線抗蝕劑非常適合制造性器件結構。這些負色調,環(huán)氧基抗蝕劑表現出優(yōu)異的耐化學性和低的楊氏模量,使其成為制造微/納米結構的理想選擇,如懸臂,膜和微通道。


SU-8 3000系列

已被配制用于改進的粘合性和降低的涂層應力。它被用于需要高結合強度和改進的微結構制造柔性的地方,用于微流控/MEMS微納工藝,大大提高了與基板的粘合性。


mr-NIL210

有機可光固化的NIL抗蝕劑,具有出色的干法刻蝕特性。它具有出色的固化和納米壓印性能,特別適用于使用軟印模材料(例如PDMS)的軟NIL。


mr-I T85

熱塑性NIL抵抗劑,基于非極性環(huán)烯烴共聚物(TOPAS)的T-NIL抗蝕劑(Tg = 85°C)。


SU8膠配套顯影液、去膠液、去邊膠

SU-8 Dev、Remover PG去膠、EBR-PG 去邊膠、ZX-238型正膠顯影液


AZ膠配套顯影液

AZ300MIF-薄AZ系列光刻膠的顯影液     

AZ400K-厚AZ系列光刻膠的顯影液       


電子束膠

PMMA/MMA950k 495k     50-5000nm    分辨率<10nm   粘附性好,適用于電子束光刻,多層T-Gate剝離、晶圓減?。?/p>

ma-N 2400                         0.1um-1um    分辨率50 nm    電子束和深紫外靈敏;抗干刻、濕刻性能;膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;堿性水溶液下顯影;


紫外光刻負膠-lift-off工藝

ROL-7133      2.2-4um      分辨率4um       制作金屬電極或導線,倒角75-80度,粘附性好,可使用普通正膠顯影液;

SUN-1300     7-18um       分辨率4um       對比度高、分辨率高、附著性佳、易于去除;

   




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