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等離子清洗機(jī) YSP63FA

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

更新時間：2023-02-15 15:03:41瀏覽次數(shù)：627次

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可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制
●  操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
●  軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
●  傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
●  可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購品）。

規(guī)格 

型號

YSP63FA

模式

RIE（DP模式選購）

高頻輸功率

600W

反應(yīng)臺尺寸

W385×D362mm

內(nèi)腔尺寸

W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）

反應(yīng)氣體

2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

真空泵

旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm

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