原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡 在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體，*材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，的工具。 為了滿足這種需求，日立公司研發(fā)出了透射電子顯微鏡 H-9500，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過的各種優(yōu)*性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨(dú)*功能，并采用了新的數(shù)字技術(shù)，便于用戶及時(shí)快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信
原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡
在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體，*材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，的工具。
為了滿足這種需求，日立公司研發(fā)出了透射電子顯微鏡 H-9500，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過的各種優(yōu)*性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨(dú)*功能，并采用了新的數(shù)字技術(shù)，便于用戶及時(shí)快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。
用戶友好型的操作系統(tǒng)
·和Windows®兼容的圖形用戶界面設(shè)計(jì)
·快速的樣品分析，1分鐘換樣，5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)
高穩(wěn)定性，高分辨率透射電子顯微鏡
·點(diǎn)分辨率為0.18 nm，晶格分辨率為0.1 nm
·穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測(cè)角臺(tái)
性能好，可靠性高
·得到市場(chǎng)驗(yàn)證的10級(jí)加速器電子槍設(shè)計(jì)
·阻抗式高壓電纜設(shè)計(jì)
*檔可選附件
·通用樣品桿，在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用
·可為原子分辨率的動(dòng)態(tài)研究提供加熱，冷卻和氣體注入等多種樣品桿
技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 說明 |
| 分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(點(diǎn)分辨率) |
| 加速電壓 | 300kV、200kV*1、100kV*1 |
| 放大倍率 | 連續(xù)放大模式 | 1,000～1,500,000× |
| 選區(qū)模式 | 4,000～500,000× |
| 低倍模式 | 200～500× |
| 電子槍 | 燈絲 | LaB6(六硼化鑭燈絲，直流加熱) |
| 燈絲交換 | 自動(dòng)升降式電子槍 |
| 高壓電纜 | 阻抗電纜 |
| 照射系統(tǒng) | 透鏡 | 四級(jí)透鏡 |
| 聚光鏡光闌 | 4孔可變 |
| 探針尺寸 | 微米束模式：0.05 - 0.2 µm(4級(jí))
納米束模式：1 - 10 nm(4級(jí)) |
| 電子束傾斜 | ±3° |
| 成像系統(tǒng) | 透鏡 | 五級(jí)透鏡 |
| 聚焦 | 圖像搖擺調(diào)整
利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償
聚焦優(yōu)化 |
| 物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
| 選區(qū)光闌 | 4孔可變光闌 |
| 電子衍射 | | 選區(qū)電子衍射
納米探針電子衍射
會(huì)聚束電子衍射 |
| 相機(jī)長(zhǎng)度 | 250 - 3,000 mm |
| 樣品室 | 樣品臺(tái) | 5軸優(yōu)中心海帕測(cè)角臺(tái) |
| 樣品尺寸 | 3mmΦ |
| 樣品位置追蹤 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通過CPU控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
| 樣品位置顯示 | 自動(dòng)驅(qū)動(dòng)，自動(dòng)跟蹤 |
| 樣品傾斜 | α = ±15°, β = ±15°
(日立雙傾樣品臺(tái)*2) |
| 防污染 | 冷阱 |
| 烘烤功能 | 中溫烘烤功能 |
| 觀察室 | 熒光屏 | 主屏：110 mmΦ
聚焦屏：30 mmΦ |
| 目鏡 | 7.5× |
| 照相室 | 區(qū)域選擇 | 整張照相/半張曝光 |
| 膠片 | 25張(2套膠片盒) |
| 圖形用戶界面 | | 操作系統(tǒng)：Windows XP® |
| 顯示器 | 19英寸顯示器 |
| 功能 | 數(shù)據(jù)庫，測(cè)量，圖像處理 |
| 數(shù)碼CCD 相機(jī)*3 | 相機(jī)耦合 | 透鏡耦合 |
| 有x像素 | 1,024 × 1,024 像素 |
| A/D 分辨率 | 12位 |
| 真空系統(tǒng) | 電子槍 | 離子泵：60 L/s |
| 鏡筒 | 渦輪分子泵：260 L/s |
| 觀察室/照相室 | 擴(kuò)散泵：280 L/s
前級(jí)泵：135 L/min × 3臺(tái) |
*1：放大倍率校準(zhǔn)為可選項(xiàng)
*2：可選件
*3：本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時(shí)的*諾
會(huì)員1.png)
QQ:2568841715
禹州市|
和硕县|
武川县|
佛坪县|
景泰县|
遂平县|
松潘县|
沙洋县|
栖霞市|
洮南市|
宝鸡市|
定陶县|
武城县|
通江县|
鄢陵县|
大邑县|
醴陵市|
交口县|
木里|
南丰县|
交口县|
苏尼特右旗|
惠来县|
板桥市|
遂昌县|
广安市|
噶尔县|
夏河县|
汉阴县|
江阴市|
鹤壁市|
天台县|
连江县|
五大连池市|
台山市|
德阳市|
阿荣旗|
从江县|
浠水县|
民丰县|
隆安县|