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上海添時科學(xué)儀器有限公司
上海添時科學(xué)儀器有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號ALD-1200X-4
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
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更新時間：2025-12-23 10:17:23瀏覽次數(shù)：83次
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雙通道ALD管式爐系統(tǒng)ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發(fā)CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)。該管式爐系統(tǒng)簡潔的設(shè)計使得更多的科擔的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗。
控制面板
· 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制
· 兩個ALD進氣閥
· 請點擊下圖查看控制面板（點擊圖片查看詳細資料）
ALD進氣閥
兩個ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉）
精密液體氣相發(fā)生器
精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進氣閥
雙溫區(qū)管式爐
· 連續(xù)工作的溫度為1100℃
· 兩個溫區(qū)由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為PID30段程序化控溫
· 每個加熱區(qū)長度為200mm，加熱區(qū)總長度為400mm
· 爐管兩端放置管堵時兩溫區(qū)的溫度差為500℃
· 輸入電壓：208-240V AC，單向功率為4KW
防腐型數(shù)顯真空計
· 測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr
· 耐腐蝕
· 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性
· 可實現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測，響應(yīng)時間較短易于更換插頭及傳感元件
真空泵（選配）
· 管內(nèi)真空度可達10-2Torr 真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi)，如您進行CVD實驗可點擊下圖選購無油渦旋真空泵
混氣系統(tǒng)
· 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)
· 可選購恒溫控制模塊
更新觀念
· 您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PE-ALD+CVD）和等離子增強原子層沉積+物理氣相沉積+化學(xué)氣相沉積ALD+PVD+CVD），用于生長各類材料
質(zhì)保期
一年保質(zhì)期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）
質(zhì)量認證
· 如您另付費用，我們可保證單臺儀器通過TUV（UL61010）或CSA認證
注意事項
· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa 會更加精確安全· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊· 點擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭本公司有權(quán)隨時修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計不再另行通知，但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達到和超過上述標準
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