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行業(yè)產(chǎn)品

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司


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1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號OTF-1200X-II-PEC4

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2025-12-23 10:14:39瀏覽次數(shù):42次

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產(chǎn)品簡介

1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng),OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等離子增強(qiáng)混合物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)源(帶自動(dòng)匹配功能)、上游原位蒸發(fā)舟、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)及性能優(yōu)異的真空泵組成。此于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆(如:制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等)。

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱 

1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-II-PEC4 

產(chǎn)品提示

 1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?nbsp;  4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

 ? 爐體可在0 ~ 25°內(nèi)傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出

 ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度 

? 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性

 ? 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控 

? 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對前驅(qū)體進(jìn)行蒸發(fā)用于后續(xù)的混合物理化學(xué)氣相沉積階段。

加熱爐參數(shù)

 ? 溫度:1200oC(<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃;

 ? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);

 ? 輸入功率:208-240V,單相,功率:2.5KW;

 ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗; 

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:2-10rpm;

 ? 爐體開啟式設(shè)計(jì),以達(dá)到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

image.png

蒸發(fā)舟參數(shù)

 ? 0.7mL氧化鋁坩堝(由鎢絲加熱圈包圍);

 ? S型熱電偶插入坩堝中實(shí)現(xiàn)對蒸發(fā)物料的精確測溫;

 ? 溫度可達(dá)1300℃(<1h),長期使用溫度:1200℃(當(dāng)管內(nèi)溫度達(dá)800℃時(shí),蒸發(fā)舟溫度可達(dá)1500℃)。

image.png射頻電源

image.png

真空系統(tǒng) 

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)

 ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); 

 ? 流量范圍:一路 0-100 sccm二路 0-200 sccm三路 0-200 sccm四路 0-500 sccm 

 ? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; 

 ? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

 ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

  ? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量 

? 爐體尺寸:2800mm L ′ 800mm W ′1700mm H; 

? 混氣系統(tǒng)尺寸:600mmL′850mm W′700mm

? 凈重:180kg

image.png

承諾 

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

 ? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


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