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氣體質(zhì)量流量計(jì)（流量控制器）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、產(chǎn)品概述氣體流量計(jì)(MassFlowMeter縮寫為MFM)和氣體流量控制器(MassFlowControler縮寫為MFC)用于對(duì)微小氣體的流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品概述

氣體流量計(jì)(Mass Flow Meter縮寫為M FM)和氣體流量控制器(Mass Flow Controler縮寫為MFC)用于對(duì)微小氣體的流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。是結(jié)合微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年,開(kāi)發(fā)出的智能化全電子式氣體流量?jī)x表。主要技術(shù)性能處于水平,具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn):針對(duì)工業(yè)環(huán)境,融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì):且具有多種信號(hào)輸出,能通過(guò)通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能:本產(chǎn)品在性能、安裝、維護(hù)方面也具有其的*性?？蓮V泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。

典型特點(diǎn)如下:

■采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(zhǎng)技術(shù),傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí),使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。

■在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使該流量計(jì)的量程比(范圍度)大大提高。

■傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善。

■結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù),使流量計(jì)重復(fù)性好,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。

■技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化,使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表,壓力損失大幅度減小,極大地降低了能源消耗。

■微功耗設(shè)計(jì) ,采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量,清晰直觀,讀數(shù)方便。

■產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù),具有更高抗力。.

■流量計(jì)帶有RS485通訊模塊,配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。

二、典型應(yīng)用

氣體流量計(jì)/流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它各種類型的分析儀器。

三、測(cè)量原理

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)芯片傳感技術(shù),是在硅芯片上集成了具有機(jī)械和電子特征的微米級(jí)傳感器。它并不是簡(jiǎn)單地將機(jī)械和電子功能微縮在芯片上,而是采用了現(xiàn)代材料制作技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合獲得新的機(jī)電特性。微機(jī)電系統(tǒng)芯片可獲得某些宏觀機(jī)電器件所不能達(dá)到的功效。同時(shí)采用了多傳感器和微熱源技術(shù)，使其具備了優(yōu)良的穩(wěn)定性、響應(yīng)時(shí)間短和超大量程等特點(diǎn)。OPEC-MFM系列氣體質(zhì)量流呈計(jì)主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號(hào)處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、EEPROM存儲(chǔ)器、RTC實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊以及顯示模塊組成。見(jiàn)右圖(圖1)。

OPEC- MFC由流量傳感器、分流器通道、流量控制電磁調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。

OPEC-MFC利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布。

該產(chǎn)品利用流體流動(dòng)傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)效應(yīng)而制成,采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,可以在一定范圍不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行放大。然后與設(shè)定的流量電壓信號(hào)進(jìn)行比較,用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過(guò)通，道的實(shí)際流量使之與設(shè)定的流量期望值相等。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生穩(wěn)定的層流狀態(tài),用以調(diào)整

四、產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)及選型