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納米級光學(xué)干涉測厚儀

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更新時間：2022-09-03 08:56:27瀏覽次數(shù)：652次

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深圳吉泰自動化技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡介

納米級光學(xué)干涉測厚儀應(yīng)用：PET、PE、PMMA等薄膜·離型膜·沉積膜·金屬表面漆膜涂層·膜涂層·塑料涂層產(chǎn)品簡介：PSD-2000型在線納米級光學(xué)膜厚儀利用光譜相干測量學(xué)，用于測量半導(dǎo)體制造過程中的薄膜厚度，以及安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備上的A

詳細(xì)介紹

圖片1.png

納米級光學(xué)干涉測厚儀

應(yīng)用：PET、PE、PMMA等薄膜·離型膜·沉積膜·金屬表面漆膜涂層·膜涂層·塑料涂層

產(chǎn)品簡介：

PSD-2000型在線納米級光學(xué)膜厚儀利用光譜相干測量學(xué)，用于測量半導(dǎo)體制造過程中的薄膜厚度，以及安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備上的APC和薄膜的質(zhì)量控制，能夠測量單層/多層/涂布層在不透光基板上的厚度，精準(zhǔn)度可達(dá)納米級。

PSD-2000型在線納米級光學(xué)膜厚儀，其核心部件主要源自于美國Ocean Optics有限公司，其微型光譜儀體積小巧，可對全譜進(jìn)行快速采集，產(chǎn)品應(yīng)用廣泛，可用于生化、光電、航空航天、環(huán)境保護(hù)、安全檢測、農(nóng)業(yè)等行業(yè)，可進(jìn)行 Low-E玻璃鍍膜檢測，ITO玻璃鍍膜檢測，PET涂布在線膜厚檢測，金屬表面涂層檢測，半導(dǎo)體，LCD膜厚檢測等。

工作原理：分光干涉法

當(dāng)光入射到樣品內(nèi)部，會發(fā)生多重反射現(xiàn)象，多重反射光會由于相互之間的相位差增強(qiáng)或減弱，而相位差取決于樣品的折射率和光程，因此來自于樣本的反射光譜與其厚度有直接關(guān)系。光譜干涉法就是利用這種的光譜分析出樣品的厚度，該厚度測量儀器根據(jù)測試范圍的不同主要使用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進(jìn)行分析。

圖片2.png

應(yīng)用范圍：

?PET薄膜厚度測量

?涂層厚度測量，如HC，保護(hù)膜，光刻膠，OCA，離型膜等涂布厚度或克重的測量

?用于包裝的PET表面介質(zhì)膜克重或膜厚測量

?金屬表面透明和半透明漆膜涂層

產(chǎn)品優(yōu)勢：

在線掃描式或多點測量（多達(dá)15點）同時測量

通過光強(qiáng)波動校正功能實現(xiàn)長時間穩(wěn)定測量

提醒及警報功能(通過或失敗)

反射(透射)和光譜測量

同步測量多層厚度

高速、高準(zhǔn)確度

參數(shù)：

型號	PSD-2000W	PSD-2000P	PSD-2000R
可測膜厚范圍	15 nm - 100 um	2nm - 200 um	200nm-3000um
測量可重復(fù)性	0.02 μm
測量準(zhǔn)確	±1%
光源	鎢鹵素?zé)?/span>
測量波長	380 - 1050 nm	250 - 1050 nm	900 - 1200 nm
光斑尺寸	約φ1 mm
工作距離	10 mm
可測層數(shù)	最多10層
分析	FFT 分析，擬合分析
測量時間	19 ms/點
外部控制功能	Ethernet
接口	USB 2.0（主單元與電腦接口）；RS-232C（光源與電腦接口）
電源	AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗	約330W（2通道）~450W（15通道）

PSD-200實驗室型納米級光學(xué)干涉測厚儀

圖片3.png

用途：

·太陽能減反膜玻璃，TCO玻璃，Low-E玻璃，ITO玻璃，光學(xué)玻璃鍍膜等測量。

·PET膜透明膠膜厚測量

·膜厚，顏色，粗糙度，透過率，反射率，霧度

·可用于實驗室離線測量

技術(shù)水平：

·精度0.1%，達(dá)到國際同類產(chǎn)品水平

·檢測透明和半透明涂層

·反射式太陽能玻璃的膜厚/折射率測量儀，具有測量速度快，測量準(zhǔn)確，操作簡便的特點。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品類型	可見光	紫外+可見光
厚度測量	15nm-100μm	1nm-100μm
折射率	厚度要求100nm以上	厚度要求50nm以上
準(zhǔn)確性	2nm或0.5%
精度	0.1nm
測量時間	小于1秒
光斑大小	大約1mm