物鏡

頂針架
夾持直徑：φ100 mm      
夾持長(zhǎng)度：700mm
高頂針架     
夾持直徑：φ250 mm     
夾持長(zhǎng)度： 200mm
數(shù)顯分度頭
角度測(cè)量范圍：0°～360°     
角度測(cè)量分辨率：5″     
角度測(cè)量準(zhǔn)確度：30″
CCD 攝像頭    
1/3″黑白(或彩色)CCD，像素?cái)?shù)：795×596
光學(xué)定位器
探測(cè)孔徑: φ5mm   
探測(cè)深度：15mm 
測(cè)量力：0.1N    
定位穩(wěn)定性: 0.001mm
測(cè)頭直徑的檢定極限誤差：0.0005mm
環(huán)境要求 : 室溫20±1℃，相對(duì)濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸(mm) : 長(zhǎng)1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量： 450kg