PHEMOS-1000是一款高分辨率發(fā)射顯微鏡，通過檢測半導(dǎo)體器件缺陷引起的微弱光發(fā)射和散熱，確定半導(dǎo)體器件中的故障位置。 由于PHEMOS-1000可與通用探針組合使用，因此您可以使用您熟悉的樣品設(shè)置來執(zhí)行各種分析任務(wù)。 安裝可選的激光掃描系統(tǒng)可以獲取高分辨率的圖案圖像。 不同類型的檢測器可用于各種分析技術(shù)，例如發(fā)射分析，熱分析和IR-OBIRCH分析。 PHEMOS-1000支持各種任務(wù)和應(yīng)用，從探針插座板到大尺寸300 mm晶圓探針。

- 可安裝兩個超高靈敏度攝像頭：

用于發(fā)射分析和熱分析或可見光和近紅外光的不同檢測波長范圍的覆蓋范圍允許容易地選擇與樣品和失效模式 匹配的分析技術(shù)。

- 最多可安裝3個波長的激光器和用于EOP的探頭光源

- 適用于各種樣品的光學(xué)平臺

光學(xué)平臺的工作范圍

X +/- 20mm

Y +/- 20mm

Z +/- 75mm

*由于使用探針并干擾樣品臺或安裝NanoLens，工作范圍可能比此值窄。