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ZERO U3pcb自動測量系統(tǒng)是公司推出的一款高效、高精度、自動化微納3D測量系統(tǒng)，可以用來測量光滑到非常粗糙表面三位形貌。順應(yīng)工業(yè)4.0潮流，我們開發(fā)了一整套自動測量程序?？蓪崿F(xiàn)多點自動測量，數(shù)據(jù)自動輸出。便于批量、快速、自動測量并且可以有效避免人為操作誤差?？梢宰詣咏y(tǒng)計如：孔深、孔徑；線寬、線高；槽寬、槽深；臺階高度；BUMP 高度、直徑；粗糙度等數(shù)據(jù)。軟件可以自動統(tǒng)計所有掃描位置的需測數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計最小值、公差、CPK等質(zhì)量數(shù)據(jù)。

?System Dimensions 外觀尺寸	1500mm(X)1500mm(Y)1583mm(Z)
OP Desk Dimensions 操作臺尺寸	650mm(X)*650mm(Y)
Gantry Stage Travel 平臺移動行程	650mm(X)650mm(Y)40mm(Z)
Application Size of Substrate 測量范圍	635mm(X)510mm(Y)40mm(Z)
Inspection PCB Thickness 檢驗PCB厚度	0.4mm-8mm
Inspection PCB Size 檢驗PCB尺寸	635mm(X)*510mm(Y)
Weight 重量	1500kg
FOV視場范圍	1690*1410um
STAGE/平臺	Encoder Type/光柵 :RENISHAW Material /材質(zhì):花剛巖 Vibration Isolation/防震：德國BILZ減震系統(tǒng) 隔振等級VC-D 光學(xué)尺分辨率/Resolution：0.1um 特氟龍表面處理
COMPUTER/計算機(jī)	HP WORKING STATION Z240/惠普工作站 Z240 Intel Xeon至強(qiáng)處理器 /1Tb HD/16Gb RAM Windows 10 64bits硬盤存儲量1T
SOFTWARE/軟件	Multiple Measure positions and recipes setting/多點測量坐標(biāo)及測量參數(shù)設(shè)定 Overview Map/預(yù)覽圖顯示 Auto Focus and Auto Light/自動對焦及亮度調(diào)整 Auto Measurement and Analysis/自動測量并分析 Live Image/實時畫面顯示 SPEC LIMITED setting and control/測量結(jié)果規(guī)格設(shè)定及管控 Recipe≥999數(shù)量