超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是日本電子株式會社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當(dāng)今掃描電鏡的全部前沿技術(shù)，200nA的大電流在保證高分辨率的同時，得到高速樣品分析結(jié)果，空間分辨率，對導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動化程度高，操作直觀方便，可以稱得上是一款高檔次的場發(fā)射掃描電鏡。

超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F主要特點
1.主動式減震器
2.磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無需UPS保護
3.標(biāo)配的五軸馬達驅(qū)動全對中樣品臺
4.全自動樣品更換氣鎖
5.全自動樣品監(jiān)控系統(tǒng)
6.全自動物鏡光闌
7.多通道顯示系統(tǒng)
8.減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置
9.能量過濾器標(biāo)準(zhǔn)配置
10.可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
11.可以選配掃描投射探頭（STEM）

高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F技術(shù)參數(shù)