本系列超聲波清洗設(shè)備，根據(jù)TFT液晶面板研制而成，由化學(xué)清洗、DI水漂洗、慢拉及干燥等工序組成。主要用于TFT面板切割等工序段的精密清洗及干燥

●整機(jī)一體化設(shè)計，模塊化組合，占地小，容量大；
●核心清洗技術(shù)，單向波段輸出，空化效率高，潔凈度好；
●*的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，穩(wěn)定，易維護(hù)保養(yǎng)；
●隧道式干燥、冷卻，高效，無液晶變相；
●可配置熱泵加熱，大幅度降低運(yùn)行能耗；
●可配置中水回用系統(tǒng)，提高水的利用率；
●PLC+人機(jī)界面控制，多層密碼權(quán)限，工藝參數(shù)可調(diào)，狀態(tài)可視。

用于TFT液晶板制程中切裂后的精密清洗干燥。