ContourX-500 光學(xué)輪廓儀是功能面的自動(dòng)化臺(tái)式系統(tǒng),可快速完成非接觸式三維表面計(jì)量。ContourX-500 具有的 Z 軸分辨率和準(zhǔn)確度,并具備布魯克落地式白光干涉(WLI)儀器廣受業(yè)界認(rèn)可的所有優(yōu)勢(shì),而占地面積更小。該款輪廓儀可輕松自主配置,適用于從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝的質(zhì)量保證/質(zhì)量控制(QA/QC)計(jì)量到眼科和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的研發(fā)表征等廣泛的復(fù)雜應(yīng)用。






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