H400V-MPS 真空小型臺(tái)式探針臺(tái)系列是可從外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái)，可以在達(dá)到設(shè)定溫度后通過外部移動(dòng)進(jìn)行點(diǎn)針，避免了先點(diǎn)針后變溫因熱脹冷縮效應(yīng)造成的漂移現(xiàn)象。該探針臺(tái)涵蓋多型號、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

溫控參數(shù)：

溫度范圍：-190℃~400℃ （30℃~1000℃可選 ）

加熱塊材質(zhì)：銀

傳感器/溫控方式：100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源）

升溫速率：30℃/min（@100℃）

溫控速度：±0.01℃/min

溫度分辨率：0.01℃ RTD傳感器

溫度穩(wěn)定性：±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能：可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)：

探針：默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針

探針座：可從外部XYZ移動(dòng)的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式

點(diǎn)針：從外部移動(dòng)點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

探針接口：默認(rèn)為BNC接頭，可選三同軸接口

樣品臺(tái)面電位：默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學(xué)參數(shù)：

適用光路：反射光路

窗片：可拆卸與更替的窗片

物鏡工作距離：8mm，12mm 可選

上蓋窗片觀察：窗片范圍φ50mm，視角±50°

負(fù)溫下窗片除霜：吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)：

加熱區(qū)/樣品區(qū)直徑：30 mm，（50mm可選）

樣品腔高：6.3mm

探針座：可從外部XYZ移動(dòng)的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY粗調(diào)20mm

XY微調(diào)行程10mm，Z微調(diào) 3mm，調(diào)節(jié)精度10μm

氣氛控制：真空腔，也可充入保護(hù)氣體

外殼冷卻：可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺(tái)體尺寸/重量：300mm x 300mm x 40 mm / 4kg

※ 可直接固定在WITec拉曼光譜儀上實(shí)現(xiàn)高低溫光電流成像及原位高低溫拉曼成像。

典型應(yīng)用：

微區(qū)光電流測試，表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機(jī)材料器件的電性能測試

晶圓、半導(dǎo)體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試...

湖南大學(xué)測試中心——結(jié)合WITec拉曼光譜儀實(shí)現(xiàn)微區(qū)光電流成像及變溫拉曼成像