產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    MPCS-100渦輪分子泵組可為物理吸附儀、化學(xué)吸附儀等多類儀器提供1×10-9Pa的極限真空度，無需單獨(dú)配置分子泵控制器，并加入的真空監(jiān)測(cè)與泵組工作調(diào)節(jié)裝置

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1.無需單獨(dú)購置控制器

2.渦輪分子泵的出入口壓力值可監(jiān)測(cè)

3.擁有前后級(jí)工作調(diào)節(jié)裝置，避免前級(jí)泵反油對(duì)渦輪分子泵的影響

4.泵組的工作全部智能控制，無需人員介入

5.的法蘭連接結(jié)構(gòu)，有效提高入口氣密性

儀器應(yīng)用技術(shù)

1.的智能控制系統(tǒng)

    采用彼奧德研發(fā)團(tuán)隊(duì)提供的MPCS控制系統(tǒng)，通過對(duì)各關(guān)鍵點(diǎn)的壓力及工作狀態(tài)監(jiān)控，有效的對(duì)泵組各部分工作狀態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制，并有效提高 

2.應(yīng)用的法蘭結(jié)構(gòu)

    采用彼奧德研發(fā)團(tuán)隊(duì)提供的NF式法蘭連接結(jié)構(gòu)，有效提高氣密性降低高真空下的漏率。

3.前級(jí)泵與渦輪分子泵配置調(diào)節(jié)裝置

技術(shù)參數(shù)

1.極限真空：1×10-9Pa

2.前級(jí)泵抽速：采用I-PID技術(shù)可調(diào)

3.供電系統(tǒng)：與MPSC控制系統(tǒng)集成

4.控制系統(tǒng)：采用MPSC控制系統(tǒng)，可智能控制并有效協(xié)調(diào)前后級(jí)工作狀態(tài)

硬件系統(tǒng)：

1.前級(jí)泵采用德萊寶雙極旋片真空泵

2.分子泵采用德萊寶渦輪分子泵

3.配置高精度德萊寶壓力傳感器

4.配置NF法蘭接口

5.配置MPSC控制主板