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雙通道ALD管式爐系統(tǒng)

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面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
品牌
型號(hào)ALD-1200X-
所在地上海市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2025/12/23 10:17:23
訪問次數(shù)82

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。主要產(chǎn)品：生命科學(xué)儀器，化學(xué)分析儀器，光學(xué)儀器，物性測(cè)試儀器及設(shè)備，環(huán)保設(shè)備/流量?jī)x表，行業(yè)專用儀器，藥物檢測(cè)儀器，種子儀器，農(nóng)業(yè)和食品儀器，石油儀器，煤炭?jī)x器，測(cè)繪儀表，建筑儀器，公路儀器，地質(zhì)儀器，電工儀器儀表，自動(dòng)化儀表，氣象儀器，環(huán)保儀器，電教器材，無線電儀器，小型機(jī)械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì)，高服務(wù)，高信譽(yù)”贏得各地市場(chǎng)，各個(gè)領(lǐng)域的好評(píng)和歡迎。未來，公司將引進(jìn)和代理更多國內(nèi)產(chǎn)品，并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場(chǎng)不同的需求，以更高質(zhì)量的產(chǎn)品，更高質(zhì)量的服務(wù)，更高效率的運(yùn)營，樸素而*的管理理念，為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)！公司宗旨：客戶至上誠信為本開拓創(chuàng)新成就*

展開顯示更多內(nèi)容

光度計(jì)，水質(zhì)監(jiān)測(cè)，氣體發(fā)生器，培養(yǎng)箱，環(huán)境監(jiān)測(cè)，實(shí)驗(yàn)室儀器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

雙通道ALD管式爐系統(tǒng)ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個(gè)ALD進(jìn)氣閥、1個(gè)精密液體氣相發(fā)CVD生長(zhǎng)納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)。該管式爐系統(tǒng)簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)使得更多的科擔(dān)的低成本情況下實(shí)現(xiàn)ALD工藝實(shí)驗(yàn)。

雙通道ALD管式爐系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

控制面板

· 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進(jìn)行控制

· 兩個(gè)ALD進(jìn)氣閥

· 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖查看控制面板（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

ALD進(jìn)氣閥

兩個(gè)ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉）

精密液體氣相發(fā)生器

精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進(jìn)氣閥

雙溫區(qū)管式爐

· 連續(xù)工作的溫度為1100℃

· 兩個(gè)溫區(qū)由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為PID30段程序化控溫

· 每個(gè)加熱區(qū)長(zhǎng)度為200mm，加熱區(qū)總長(zhǎng)度為400mm

· 爐管兩端放置管堵時(shí)兩溫區(qū)的溫度差為500℃

· 輸入電壓：208-240V AC，單向功率為4KW

防腐型數(shù)顯真空計(jì)

· 測(cè)量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr

· 耐腐蝕

· 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的精確度和重復(fù)性

· 可實(shí)現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測(cè)，響應(yīng)時(shí)間較短易于更換插頭及傳感元件

真空泵（選配）

· 管內(nèi)真空度可達(dá)10-2Torr 真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi)，如您進(jìn)行CVD實(shí)驗(yàn)可點(diǎn)擊下圖選購無油渦旋真空泵

混氣系統(tǒng)

· 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)

· 可選購恒溫控制模塊

更新觀念

· 您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強(qiáng)原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PE-ALD+CVD）和等離子增強(qiáng)原子層沉積+物理氣相沉積+化學(xué)氣相沉積ALD+PVD+CVD），用于生長(zhǎng)各類材料

質(zhì)保期

一年保質(zhì)期，終身維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

質(zhì)量認(rèn)證

· 如您另付費(fèi)用，我們可保證單臺(tái)儀器通過TUV（UL61010）或CSA認(rèn)證

注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa 會(huì)更加精確安全· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊· 點(diǎn)擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭本公司有權(quán)隨時(shí)修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)不再另行通知，但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達(dá)到和超過上述標(biāo)準(zhǔn)