一、可以測試的硅材料類型

圖1-1 硅晶棒晶錠 圖1-2 多晶硅片 圖1-3 單晶硅片

圖1-4普通硅片 圖 1-4 硅塊料

二、儀器配件選配方案

   硅材料電阻率、方阻測試方案選配核心的原則，一是要選擇專門測試硅材料的鎢針探頭，耐磨性好，使

用時(shí)間長，二是要知道硅材料的電阻率范圍，以便選配我公司合適的四探針測試儀。
   硅材料電阻率測試的方案選配分三個方面：探頭的選配、儀器的選配、測試臺的選配。任意三件套組成
可以構(gòu)成不同特色的方案，或側(cè)重價(jià)格、或側(cè)重技術(shù)精度、或適用場合或綜合考慮。

   2.1 探頭的選配：由于硅材料是硬度高，表面一般較粗糙，甚至有影響測試的氧化層等，所以硅材料測試

探頭選配原則是耐磨耐用，要有一定穿透性，推薦使用ST2253-F01型碳化鎢針?biāo)奶结樚筋^。

如圖2-1 

圖 2-1 ST2253-F01 碳化鎢針探頭

   市場上也有鋼針的，但是耐用壽命不如碳化鎢針。我們蘇州晶格只有鎢針的。測試探頭有臺式的可以配合在任
意一款測試臺上。圖示為SZT-C型快速恒壓四探針測試臺，也有手持式的，適合手持式測試的。

圖2-2 SZT-C測試臺

2.2 四探針測試儀選配。

四探針測試儀選配的基本原則是材料電阻率或方阻的測試范圍、測試精度，一般測試范圍不算大的可
以選M-3手持式，如果范圍測試大一點(diǎn)的可以選擇臺式的ST2258C，帶PC軟件的可以選擇ST2253，如果想測
試精度更好，更準(zhǔn)一點(diǎn)的可以選擇雙電測ST2263，這款也帶電腦PC軟件的。這三款可以自由選配，如下圖
所示

M-3手持式四探針測試

測試范圍、分辨率

  電  阻：  0.010Ω   ～  50.00kΩ,   分辨率0.001Ω ～ 10 Ω
 電 阻 率：  0.010Ω-cm ～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω-cm
 方塊電阻：  0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω/□

量程劃分及誤差等級

M-3手持式四探針儀器 如下圖

     M-3手持式是款充電式,里面是五個量程的，直接拿在手上就可以進(jìn)行測試了，在車間
或出差方便攜帶。

臺式ST2258C四探針測試儀

測試范圍、分辨率

  電   阻：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3Ω,   分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω
      （1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3  Ω,    分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω）
  電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3 Ω-cm  分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω-cm
      （1.0×10-6 ～ 20.00×10∧3 Ω-cm   分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧3 Ω-cm）
  方塊電阻：50.0×10-6 ～ 900.0×10∧3 Ω/□  分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×10∧3  Ω/□ 
     （5.0×10-6 ～ 100.0×10∧3 Ω/□   分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×10∧3  Ω/□）

量程劃分及誤差等級

臺式ST2258C是款測試范圍大一點(diǎn)，是八檔寬量程的，手動/自動量程，帶產(chǎn)品分類功能，比
M-3手持式多幾個量程。不帶電腦pc測試軟件的，手工記錄數(shù)據(jù)。

ST2258C

臺式ST2253四探針測試儀

測試范圍、分辨率

  電  阻：1×10-4～2×10∧5 Ω   ，  分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω
  電阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，  分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
  方  阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，  分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
量程劃分及誤差

ST2253測試范圍和ST2258C是一樣的,也是八檔寬量程的。但ST2253是帶電腦PC軟件的，能夠
方便的記錄數(shù)據(jù)和儲存數(shù)據(jù)。

臺式ST2263四探針測試儀

測試范圍、分辨率

   電阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm
   方  阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□
   電  阻：1×10-5～2×10∧5 Ω   ，分辨率：1×10-6～1×10∧2 Ω

量程劃分及誤差等級

臺式ST2263如下圖 所示

臺式ST2263這款是雙電測的，誤差小，測試更精準(zhǔn)，帶電腦PC軟件

2.3 硅材料測試四探針測試臺選配

   一般測試臺可以選配我公司手動式的SZT-C，上下壓力可以手動調(diào)節(jié)，SZT-A或電動SZT-B型的都
可以選擇使用。

SZT-C SZT-A SZT-B