該設(shè)備是手動型探針臺。它與測試儀連接后,主要用于各種半導(dǎo)體器件芯片的電參數(shù)測試,適用于科研分析用途、及小批量生產(chǎn)及抽測。
主要技術(shù)特點

工作臺
采用導(dǎo)軌絲杠傳動,手動操作,簡單方便

承片臺
結(jié)構(gòu)緊湊,手動完成Z向升降和θ向旋轉(zhuǎn)
主要技術(shù)指標(biāo)
√ 可測片徑:3"、4"、5"、6"
√ 工作臺行程:154mm×154mm
√ 工作臺操作方式:手輪
√ 承片臺Z向行程:2mm
√ θ向調(diào)節(jié)范圍:±45°
√ 顯微鏡:雙目體視、放大倍數(shù)14×~90×
√ 照明:LED環(huán)形燈
√ 上、下片方式:手動方式
√ 外形尺寸:600mm×460mm×510mm
√ 重量:約50Kg
特殊配置
√ 可配高倍率顯微鏡(可選);
√ 可加裝視頻顯示系統(tǒng)(可選)
√ 可配電磁屏蔽柜(可選)
√ 可配8”吸片盤、加熱溫控吸片盤(可選)
使用環(huán)境
√ 電源:AC220V±22V 50Hz
√ 真空:-80KPa
√ 流量:0.5L/S
√ 環(huán)境溫度:15℃~~30℃
√ 相對濕度:<60%





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