該設(shè)備為全自動設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體分立器件器件GPP的電參數(shù)分析、測試。該設(shè)備配接測試儀后,能自動完成芯片的電參數(shù)測試功能。
The equipment is fully automatic,which is mainly used for the analysis and test of the electrical parameters of the discrete device and GPP chip.After it is connected with the tester,it can automatically test the electrical parameter and function of the chip.
主要技術(shù)指標 Main Specifications
| 可測片徑 | 4″、5″ | Wafer Size | 4″、5″ |
| 行程 | 170mm×240mm | Max. Travel Range | 170mm×240mm |
| 定位精度 | ≤±0.030mm/150mm | X/Y Positioning Accuracy | ≤±0.030mm/150mm |
| 步進分辨率 | 0.001mm | X/Y Resolution | 0.001mm |
| Z向行程 | 3mm | Chuck Z-axis Travel | 3mm |
| Z向重復(fù)定位精度 | ≤±0.003mm | Z-axis Positioning Accuracy | ≤±0.003mm |
| Z向分辨率 | 0.001mm | Z-axis Resolution | 0.001mm |
| θ向自動調(diào)節(jié)范圍 | ±10° | θ Rotation Angle | ±10° |
| θ向分辨率 | 0.0013° | θ Resolution | 0.0013° |





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