包裝印刷網(wǎng)>產(chǎn)品庫>儀器儀表>其它儀器儀表>其它>>超高真空電子束蒸鍍設(shè)備

超高真空電子束蒸鍍設(shè)備

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京瑞科中儀科技有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2025/1/1 5:11:58
訪問次數(shù)131

產(chǎn)品標(biāo)簽:

在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品點(diǎn)擊查看電話

索取相關(guān)資料

公司介紹主營產(chǎn)品

北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)，專精的服務(wù)，提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理，為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向，用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流，打消顧慮，彼此協(xié)作，為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備，其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念，以人為本的企業(yè)文化，我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)！

合作丨共贏，選擇我們，選擇未來！

展開顯示更多內(nèi)容

半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

簡要描述：超高真空電子束蒸鍍設(shè)備的特征為其真空壓力低于10-8至10-12 Torr，在化學(xué)物理和工程領(lǐng)域十分常見。超高真空環(huán)境對于科學(xué)研究非常重要，因?yàn)閷?shí)驗(yàn)通常要求，在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程中，表面應(yīng)保持無污染狀態(tài)和使用較低能量的電子和離子的實(shí)驗(yàn)技術(shù)的使用，而不會受到氣相散射的過度干擾。

超高真空電子束蒸鍍設(shè)備產(chǎn)品信息

超高真空電子束蒸鍍設(shè)備介紹

超高真空環(huán)境的特徵為其真空壓力低於10-8至10-12 Torr，在化學(xué)物理和工程領(lǐng)域十分常見。超高真空環(huán)境對於科學(xué)研究非常重要，因?yàn)閷?shí)驗(yàn)通常要求，在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程中，表面應(yīng)保持無污染狀態(tài)和使用較低能量的電子和離子的實(shí)驗(yàn)技術(shù)的使用，而不會受到氣相散射的過度干擾。在這樣超高真空環(huán)境下使用電子束蒸鍍，SYSKEY可以提供高品質(zhì)的薄膜。

針對超高真空和高溫加熱設(shè)計(jì)基板旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)構(gòu)，使用陶瓷培林旋轉(zhuǎn)，並在內(nèi)部做水冷循環(huán)來保護(hù)機(jī)構(gòu)以確保長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。

超高真空電子束蒸鍍設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域	腔體
光學(xué)材料研究(LED/Laser Diode)。光電元件。半導(dǎo)體元件。	客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和其應(yīng)用。腔體為使用金屬密封圈並可烘烤至150oC。腔體的極限真空度約為10-10Torr。
配置和優(yōu)點(diǎn)	選件
客製化的基板尺寸，直徑可達(dá)8吋晶圓。優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3％。具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源（1/2/4/6坩堝）。自動鍍膜系統(tǒng)。具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源。基板具有冷卻（液態(tài)氮溫度低至-70°C）或加熱（溫度800°C）等功能。	可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。結(jié)合離子源、濺鍍槍、熱蒸發(fā)源、等離子清潔...。