一、概述
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無損測量,通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜,同時搭配R-Theta位移臺,兼容6到12寸樣品,可以對整個樣品進(jìn)行快速掃描,快速準(zhǔn)確測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息,并對于膜厚均勻性做出評價。
■ 光學(xué)薄膜測量解決方案;
■ 非接觸、非破壞測量;
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析;
■ 膜厚重復(fù)性測量精度:0.02nm
■ 全自動測量,測量點數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯
■ 采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?,光譜覆蓋紫外可見光到近紅外范圍;

■ 采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計,體積小,操作簡便;

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理,輕松解析單層薄膜到多層;

■ 配置*核心分析算法:FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息;

三、產(chǎn)品應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護(hù)膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。


技術(shù)參數(shù)








伊川县|
平凉市|
桦甸市|
福州市|
武山县|
林甸县|
望谟县|
二连浩特市|
千阳县|
黎平县|
固镇县|
涞水县|
邛崃市|
富平县|
余姚市|
东乡县|
昭通市|
土默特右旗|
湖南省|
文登市|
乌兰县|
娄底市|
上高县|
石屏县|
义乌市|
内丘县|
右玉县|
呼伦贝尔市|
航空|
浦东新区|
赤壁市|
潜江市|
青冈县|
千阳县|
喀喇沁旗|
土默特左旗|
凤阳县|
聂荣县|
江北区|
龙口市|
石泉县|