適用行業(yè)
本機(jī)型系我公司專為半導(dǎo)體硅行業(yè)設(shè)計(jì)定制，適用于12”半導(dǎo)體硅晶圓片材料的切割。
技術(shù)特點(diǎn)
金剛線專用機(jī)金剛線專用機(jī)，高開(kāi)機(jī)率，大幅提高切割效率及減少加工成本；
沿襲多年的高稍度伺服控制技術(shù)可實(shí)現(xiàn)超薄型硅片及超細(xì)金剛石線的精密切割加工；
以穩(wěn)定運(yùn)行和工藝為導(dǎo)向的設(shè)條設(shè)計(jì)理念，以達(dá)到工藝固化于設(shè)備中，為客戶創(chuàng)造較大的價(jià)值。
性能特征
1、 采用模塊化落地式結(jié)構(gòu)，切割主軸系統(tǒng)布置于整體式高剛性底座上，所處位置貨心低，主軸在高速往 復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí).可較大限度的減少振動(dòng)、使得運(yùn)行更加平穩(wěn)，：
2、 主機(jī)結(jié)構(gòu)部件均采用優(yōu)質(zhì)合金鋼和不銹鋼等防腐件，經(jīng)多次時(shí)效處理消除材料應(yīng)力，保證主機(jī)材料加 工后公差的一致性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
3、 多軸同步、收線、放線、排線、主軸運(yùn)轉(zhuǎn)、切割線張力、均采用柔性伺服系統(tǒng)，滿足多線切斟機(jī)對(duì)控制技術(shù)的離實(shí)時(shí)性響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備較佳切割效率。
4、 自主的電腦控制系統(tǒng)和伺服電機(jī)等核心部件，可大幅提高服務(wù)的及時(shí)性和較低的成本。
5、 工作臺(tái)升降系統(tǒng)采用曰本進(jìn)口直線導(dǎo)軌和高精度滾珠絲杠傳動(dòng)。
6、 主軸系統(tǒng)采用油冷冷卻，保證機(jī)器高速運(yùn)行時(shí)不會(huì)因溫升導(dǎo)致主軸和軸承變形；軸承采用曰本、歐美等品牌.滿足高精度切割的要求。
7、 僅采用8個(gè)大直徑導(dǎo)輪結(jié)構(gòu).實(shí)現(xiàn)18佳金剛線處 理.減少金剛線的損傷及廷長(zhǎng)導(dǎo)輪使用壽命。
8、 切削液冷卻播環(huán)系統(tǒng)具有髙壓過(guò)濾和恒溫控制功能，使得切周粉末與循環(huán)水分離并保證切削液恒溫和潔凈，確保較佳晶片質(zhì)通。的濾網(wǎng)設(shè)計(jì)可循環(huán)多次使用，減少用戶使用成本。該系統(tǒng)已獲。