● 超高的加工精度
● 斜裂方向檢測(cè),防止誤切割
● 多焦點(diǎn)切割,裂片直線度好,極小的斜裂角
● 側(cè)壁光滑,產(chǎn)品電測(cè)性能好
● 適應(yīng)4-8寸Mini LED晶圓
● 運(yùn)行穩(wěn)定, 便于維修
| 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
| 設(shè)備型號(hào) | G6002 |
| 激光器 | 1064nm 5W ≦10ps |
| 激光壽命 | ≧20000小時(shí) |
| 平臺(tái)精度 | 重復(fù)精度±0.5um,定位精度±1um@20℃±1℃ |
| 平臺(tái)運(yùn)行速度 | 運(yùn)行速度800mm/s,速度1000mm/s |
| 平臺(tái)運(yùn)行加速度 | 運(yùn)行加速度1.8G,加速度2.5G |
| 平臺(tái)切割范圍 | 300*300mm |
| 適應(yīng)產(chǎn)品尺寸 | 4-8寸晶圓 |
| 適應(yīng)材質(zhì) | 藍(lán)寶石≦0.5mm、玻璃、石英≦1.2mm |
| 控制及軟件 | LASER STUDIO,集成視覺、激光和運(yùn)動(dòng) |
| 設(shè)備重量 | 2500kg |





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