Keithley 6500、6430 系列高電阻/低電流靜電計。從三個敏感選項中選擇，實現(xiàn)精確的高阻抗和低電流測量。5½ 位 6514 型和 6517B 型靜電計提供 1fA 靈敏度，輸入阻抗 >200TΩ 的電壓測量，以及低至 10fC 的電荷測量。6½ 位 6430 型亞 fA 遠程 SourceMeter SMU 儀器能夠以 1aA 的靈敏度測量電流。其噪聲低、偏差小，非常適用于研究單電子器件、高電阻納米線和納米管、聚合物以及電化學應(yīng)用。
特點
超低噪聲（6430 為 0.4fA p-p ，6517B 和 6514 <1fA） 
高達 10 16 ? 的電阻測量 (6517B) 
遠程預(yù)放大器可以位于信號源 (6430) 
允許直接或短暫連接到信號源，較大限度地減少電纜噪聲等噪聲源。
低輸入端壓降 
內(nèi)置 ±1kV 電壓源，提供掃描功能 (6517B) 
適用于測量試樣材料的體積和表面電阻的選配 8009 型電阻率測試盒 (6517B) 
即使在低電平信號上也能實現(xiàn)高測量速度
優(yōu)勢
確保對設(shè)備和材料研究中常見的超低電流實現(xiàn)更精確的測量。
精確測量超高電阻材料和絕緣體。
消除影響低電流測量精度的誤差。
簡化了執(zhí)行泄漏、擊穿和電阻測試，以及對高電阻率材料執(zhí)行體積 (?-cm) 和表面電阻率 (?/square) 測量的過程。
防止您接觸潛在危險電壓 — 打開測試盒蓋子時自動關(guān)閉儀器的電壓源。
支持更快的低電平元器件測試。
可編程數(shù)字 I/O 和內(nèi)置接口 簡化構(gòu)建自動化元器件測試系統(tǒng)的過程。