淺析干式真空泵抽速與流導(dǎo)的關(guān)系淺析干式真空泵抽速與流導(dǎo)的關(guān)系

干式真空泵的抽速是指單位時(shí)間內(nèi)通過泵口氣體的總量；流導(dǎo)是指真空系統(tǒng)的部件對氣體的流動的通導(dǎo)能力。這兩者之間的關(guān)系是怎樣的呢？我們通過計(jì)算得出結(jié)論。

不同的干式真空泵的真空系統(tǒng)部件的流導(dǎo)可以通過計(jì)算、模擬、測量等方法確定，它除了與幾何形狀有關(guān)外，還與氣體的流動狀態(tài)有關(guān)。不同部件的流導(dǎo)是可以進(jìn)行串并聯(lián)的。

1.根據(jù)真空基本方程，可從數(shù)學(xué)上得到兩個ji端的結(jié)果，即當(dāng)流導(dǎo)非常大時(shí)，真空室的有效抽速可以近似等于泵的抽速；

2.當(dāng)干式真空泵的抽速非常大時(shí)，或者流導(dǎo)非常小時(shí)，真空室的有效抽速近似等于流導(dǎo)。

上述結(jié)果從物理上可能更易理解，從真空室抽氣口抽除的氣體必須經(jīng)過流導(dǎo)（即管道、閥門等）才能被干式真空泵抽除，只不過被抽除的氣體從真空室抽氣口向泵口運(yùn)動過程是從高壓向低壓的流動，而從泵口被抽除是從低壓向高壓的基于某種抽氣原理的強(qiáng)制流動。

1.如流導(dǎo)非常大，即通過它的氣體量不受限制，那么干式真空泵的抽氣能力就決定于自身的抽速大小，這與泵口直接與真空室相連接是一樣的。

2.如果泵的抽速非常大，這也就是相對于泵的抽速流導(dǎo)非常小，此時(shí)干式真空泵的實(shí)際抽氣能力并不決定于它的抽速大小而決定于氣體通過流導(dǎo)的能力，流導(dǎo)的數(shù)值恰為泵的有效抽速。

3.為了盡量發(fā)揮泵的抽氣能力，較大限度的加大流導(dǎo)是較為有效的方法，但往往難于實(shí)現(xiàn)。而一味增大泵的抽速更不切實(shí)際。所以采用晝量大的流導(dǎo)和選用晝量大的抽速的泵就非常值得權(quán)衡。

干式真空泵的真空效果的好壞與抽速以及流導(dǎo)都分不開關(guān)系，用戶對這些應(yīng)加以關(guān)注，不能忽略，防止真空效果受影響。

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