NanoCalc 薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)
薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以用來(lái)進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測(cè)量,對(duì)單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測(cè)量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。
的兩種測(cè)量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測(cè)量、橢圓光度法測(cè)量。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)
| 入射角 | 90° |
| 層數(shù) | 3層以下 |
| 需要進(jìn)行參考值測(cè)量 | 是 |
| 透明材料 | 是 |
| 傳輸模式 | 是 |
| 粗糙材料 | 是 |
| 測(cè)量速度 | 100ms - 1s |
| 在線監(jiān)測(cè) | 可以 |
| 公差(高度) | 參考值測(cè)量或準(zhǔn)直(74-UV) |
| 公差(角度) | 參考值測(cè)量 |
| 微黑子選項(xiàng) | 配顯微鏡 |
| 顯示選項(xiàng) | 配顯微鏡 |
| 定位選項(xiàng) | 6"和12" XYZ 定位臺(tái) |
| 真空 | 可以 |





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