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薄膜熱應(yīng)力測試系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱杭州華盼科技有限公司
品牌
型號TST-1200
所在地杭州市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/8/23 10:29:29
訪問次數(shù)318

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公司介紹主營產(chǎn)品

杭州華盼科技有限公司成立于2013年，坐落于美麗的“天堂之都”杭州，專業(yè)從事各類國內(nèi)外科學(xué)儀器、測量儀器、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備產(chǎn)品銷售、技術(shù)推廣、售后服務(wù)、技術(shù)開發(fā)等為一體綜合發(fā)展的高科技公司，為高校、科研及工業(yè)用戶提供測試測量設(shè)備、分析儀器及解決方案。華盼人始終堅(jiān)持“客戶至上、用心服務(wù)、誠信立業(yè)、合作共贏”的經(jīng)營理念，秉承“誠信、嚴(yán)謹(jǐn)、熱情、高效”的企業(yè)作風(fēng)，發(fā)揚(yáng)“團(tuán)結(jié)、務(wù)實(shí)、拼搏、創(chuàng)新”的企業(yè)精神，立足廣大客戶，以誠信經(jīng)營參與競爭，以優(yōu)質(zhì)服務(wù)占領(lǐng)市場，與時(shí)俱進(jìn)，共同發(fā)展！竭誠希望與廣大的客戶建立一個(gè)長期互贏的合作關(guān)系！

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

簡要描述：獲得的MOS多光束技術(shù)（二維激光陣列）

薄膜熱應(yīng)力測試系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

特點(diǎn):

1.獲得的MOS多光束技術(shù)（二維激光陣列）

2.采用真空和低壓氣體保護(hù)，可進(jìn)行溫度范圍-100~1200°C（多種溫度范圍可選）的變溫測量

3.樣品快速熱處理和冷處理功能

4.溫度閉環(huán)控制保證的溫度均勻性和精度

5.實(shí)時(shí)的應(yīng)力、曲率VS溫度曲線

6.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點(diǎn)線性掃描、全面積掃描

7.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應(yīng)力成像分析

8.測量功能：曲率、曲率半徑、薄膜應(yīng)力、薄膜應(yīng)力分布和翹曲等

9.氣體（氮?dú)?、氬氣和氧氣等?span lang="EN-US">Delivery系統(tǒng)

10.可采用泵入液氮冷卻,較大冷卻速率100°C/min

應(yīng)用:

TST用于科研或者生產(chǎn)企業(yè)中薄膜原位應(yīng)力監(jiān)測和控制。

TST應(yīng)用于金屬薄膜，介電薄膜、濾光片膜、平板玻璃、300mm半導(dǎo)體集成電路板、薄膜電池、MBE和MOCVD薄膜制備和退火過程的熱應(yīng)力監(jiān)控等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù):

型號	TST-1200
溫度范圍	-100~1200°C(多種溫度范圍可選)
溫度速率	加熱 >10°C/秒冷卻 600°C，較高50°C/分鐘；400°C到室溫，較高5°C/分鐘（可擴(kuò)展更快的升溫和降溫速率）
溫度均勻性	± 2 °C
溫度穩(wěn)定性	± 1 %
平均傾斜重復(fù)性	< 1μrad
平均曲率重復(fù)性	< 2×10-5 1/m
應(yīng)力測量范圍	幾十KPa ~ 幾十GPa
空間掃描分辨率（用戶可調(diào)）	高達(dá)1μm
曲率分辨率	室溫100Km，高溫20Km
實(shí)時(shí)熱應(yīng)力測量分析	30點(diǎn)/秒
真空腔室真空度	10 mTorr
測量基片尺寸	標(biāo)配200mm（100mm和300mm可選）