CPN-HT-300 型烘膠臺在半導體工藝制 備過程中,主要用于光刻工藝中的前烘和 堅膜,具有烘膠速度快、均勻、控溫精度 高等特點;可長時間連續(xù)穩(wěn)定工作,可廣 泛應用于生產。
技術指標與配置:
1、電源輸入: AC 220/240V,50HZ
2、功率:600W
3、烘烤溫度:室溫~200℃
4、控溫精度:±1℃
5、控溫形式:采用溫控儀 PID 調節(jié)(功 率調節(jié)),自動測溫,控溫。
6、熱板規(guī)格:Φ200
7、熱有效區(qū)域:≤Φ200
8、外形尺寸:280×360×270
9、整機重量:10Kg.
10、控溫擴展模式、自由式升降溫智能控制模式 CPN-HT-300 型烘膠臺可根據(jù)用戶需求 擴展控溫模式,該儀器搭配可遍程序型智能 儀表,來實現(xiàn)任意給定值升、降斜率,曲線 式控溫的需求,適合不同場合對溫度的特殊 控制要求





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