采用皮秒紫外激光器,保證的光束質(zhì)量 ,光斑細(xì) ,切縫精細(xì),切割精度高;
雙振鏡,雙頭同步加工 , 切割效率高 , 人工成本低;
單片大于單幅范圍,使用平臺(tái)與振鏡聯(lián)動(dòng),無(wú)限視野,避免拼接帶來(lái)的精度誤差;
實(shí)現(xiàn)無(wú)錐度切割,邊緣光滑;
用高速掃描振鏡,X/Y工作臺(tái)采用龍門結(jié)構(gòu),大理石基座 , 穩(wěn)定性高;
采用自動(dòng)進(jìn)料、自動(dòng)切割、自動(dòng)收料,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化,提供效率;
12年激光微細(xì)加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計(jì)技術(shù)沉淀,性能穩(wěn)定,無(wú)耗材。
| 光學(xué)單元 | ||
|---|---|---|
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
| 01 | 激光器類型 | 355nm ps |
| 02 | 冷卻方式 | 恒溫水冷 |
| 03 | 激光功率 | 30W |
| 04 | 光束質(zhì)量 | M2<1.3 |
| 05 | 單頭切割范圍 | 50nm*50nm |
| 06 | 最小聚焦光斑 | Φ15μm |
| 激光加工性能 | ||
|---|---|---|
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
| 01 | 激光切割寬度 | ≤160mm |
| 02 | 激光切割速度 | 100-3000mm/s |
| 03 | XY平臺(tái)重復(fù)精度 | ≤±1μm |
| 04 | 產(chǎn)品切割精度 | ≤±50μm |









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