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QMG 700 分析質譜儀

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公司名稱深圳市萬德泉科技有限公司
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更新時間2023/3/31 14:04:22
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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術開發(fā)、應用與貿易于一體的專業(yè)公司。產品廣泛運用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導體、科學研究、電力行業(yè)、航空航天、制造等領域。作為多家的真空設備及真空儀器供應商的代理商，我們可以為客戶提供的全套真空解決方案，解決客戶真空應用的難題，并且使客戶的成本降到。我們代理銷售的產品如下：瑞士Inficon （英?？担┠ず窨刂苾x及探頭、石英晶振片、真空計、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。美國Agilent（安捷倫，原瓦里安）渦旋式干泵、分子泵、氦質譜檢漏儀。英國Edwards （愛德華）旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規(guī)管。瑞士VAT插板閥、閘閥、蝶閥、角閥等全系列真空閥門。日本Hitachi Metals(原Aera）質量流量控制器。美國MKS質量流量控制器。美國SRS 四級質譜殘余氣體分析儀。美國Keyhigh 陶瓷壓電閥。韓國ONE C TECH低溫冷肼、壓縮機和冷媒銷售美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應氣體控制器。我們能提供維修業(yè)務的產品包括：MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制儀維修、inficon真空計維修，Edwards真空泵維修、inficon檢漏儀維修、AERA流量計維修。

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QMG 700 分析質譜儀QMG 700 分析質譜儀超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細微的分辨率半導體制造技術的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或實驗室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質譜儀以突破檢測極限，推動工藝創(chuàng)新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢，獲得出眾的測量能力。根據具體的應用要求，選擇配制合適的離子源、濾質器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數量級的動態(tài)測量量程，達到ppb 檢測量級，這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質量范圍都有很高的分辨率，對較低的質量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰(zhàn)性的測量應用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關鍵性的測量，有效控制您的工藝。 INFICON 在分析質譜儀領域五十多年的歷史和的技術，確保QMG 700 成為進行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長，您可獲得始終如一的高精度......

QMG 700 分析質譜儀產品信息

QMG 700 分析質譜儀

超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細微的分辨率

半導體制造技術的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或實驗室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質譜儀以突破檢測極限，推動工藝創(chuàng)新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢，獲得出眾的測量能力。

根據具體的應用要求，選擇配制合適的離子源、濾質器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數量級的動態(tài)測量量程，達到ppb 檢測量級，這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質量范圍都有很高的分辨率，對較低的質量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰(zhàn)性的測量應用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關鍵性的測量，有效控制您的工藝。

INFICON 在分析質譜儀領域五十多年的歷史和的技術，確保QMG 700 成為進行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長，您可獲得始終如一的高精度測量數據。

功能

質量范圍選擇為 1-2048 amu
超過九個數量級的動態(tài)量程
極快的測量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
涵蓋整個質量范圍的高分辨率：質量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內清晰地分離
超過 10 個不同的離子源和離子光學組合
離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數前置放大器
IO 選項：8 個模擬輸入/輸出和 32 個數字輸入/輸出
軟件功能*，靈活實用且具友好的用戶界面

典型應用

Gas discharge mass spectrometry
End point detection
Deposition material monitoring
Secondary ion mass spectrometry

零件號

QMA 400
零件號	明細
490-709
490-710	QMA 400 with axial Ionenq.
490-711	QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
490-712	QMA 400 mit CB-IQ, MAG
490-713	QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
490-721	QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
490-722	QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
490-755
490-756	QMA 400, 8mm Mo, UF6
490-756-2	QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
490-770	QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
490-772	QMA 400 with Axial Ionenq, W
BKM07627
PTM07736	QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
QMA 410
零件號	明細
490-811	QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
490-813	QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
490-816	QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
QMA 430
零件號	明細
490-911	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-912	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
490-921	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)

規(guī)格

類型	QMA 400	QMA 410	QMA 430
質量范圍	1-2048 amu (1)	1-340 amu (2)	1-300 amu
傳感器長度	441.5 mm	548 mm	441.5 mm
桿直徑	8 mm	16 mm	8 mm
桿材料	Molybdenum	Molybdenum	Stainless Steel
法蘭	DN 63 CF-F	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F
檢測器類型	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217
工作壓力 (FC)	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar
工作壓力 (EM)	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar
靈敏度	5 E-4 A/mbar	1 E -3 A/mbar	2 E-4 A/mbar
最小可檢測分壓	1 E-15 mbar	5 E-16 mbar	1 E-15 mbar
分辨率（可調）	0.3 - 7 amu	0.2 - 2.2 amu	0.3 - 7 amu
分壓比	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb
工作溫度傳感器	150 °C	150 °C	150 °C
烘烤溫度	400 °C	400 °C	400 °C
工作溫度電子單元	40 °C	40 °C	40 °C
測量速度	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu
電源	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC