滑閥式真空泵，全稱滑閥式油封機械真空泵，簡稱滑閥泵，同旋片泵一樣，是一種變?nèi)莘e式氣體傳輸泵，其應用范圍和使用條件也與旋片泵基本相同。

    滑閥式真空泵由于其結(jié)構(gòu)特點，容量比旋片式真空泵大得多，因此多地應用與大型真空設備上。滑閥式真空泵的基本類型也分為單級與雙級兩種類型。其中單級泵中的小泵壓力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)）；雙級泵的壓力不大于0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。抽速大于150L/s的滑閥式真空泵多采用單級形式。

    由于滑閥式真空泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大偏心，沒有好的質(zhì)量平衡，在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大振動。同時由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)心運動軌跡是復雜的封閉曲線，因此很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的全部平衡。這就限制了滑閥式真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)，一般控制350~600r/min，個別的可達到1000r/min以上。

    羅茨滑閥真空機組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級泵串聯(lián)組成的真空機組。通過真空繼電器或電接點壓力表，來實現(xiàn)羅茨泵滑閥泵的自動啟閉，自動過載保護。整套機組安裝在一個機架上，配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統(tǒng)。機組結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便。

    根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及壓力的不同，真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4：2——10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統(tǒng)及長時間在較低入口壓力或真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油，在前級管道上裝有電磁充氣閥，其動作與前級泵電動機實現(xiàn)聯(lián)動，當滑閥泵停泵前，向泵口充氣，確認滑閥泵內(nèi)的真空油返回到油箱內(nèi)，同時防止真空系統(tǒng)受到真空油污染。

    羅茨滑閥真空機組具有顯著的節(jié)能效果，真空度高，高真空區(qū)間抽氣量大，可廣泛應用于電力工業(yè)的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥；航空模擬試驗較理想的真空設備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應加裝過濾裝置。