DHFC1多功能薄膜性能測試儀由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀兩部分組成。DHFC1多功能薄膜性能測試儀具有測量精度高,靈敏度高,穩(wěn)定性好,測量范圍寬,結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便等特點。DHFC1多功能薄膜性能測試儀適用于半導體材料廠,半導體器件廠,科研單位,高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。
四探針測試儀由主機,測試架等部分組成??梢詼y量片狀,塊狀,塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率,測量擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻),功能材料暗電導和光電導及溫度的變化的特性,還可以對金屬導體的低,中值電阻進行測量。測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確,游移率小,壽命長。
非晶硅薄膜電導率測量儀由樣品室,溫控系統(tǒng),真空系統(tǒng),高阻測量系統(tǒng)等部分組成。
1. 測量范圍:電阻測量范圍:1×106 ~ 1×1017Ω;
電阻率:0.001~200Ω cm;
電導率:0.005~1000s/cm;
2. 可測晶片直徑:200mm×200mm;
3. 探針:碳化鎢或高速鋼;探針間距:1± 0.01mm;
4. 針間絕緣電阻: ≥ 1000 MΩ; 機械游移率:≤0.3%;
5. 本底真空度: ≤10Pa,氣壓可控范圍:10~400Pa;
襯底加熱溫度:室溫度~200℃
四探針測試儀 薄膜電導率測試儀
相關產(chǎn)品:FGSHA系列智能開關接觸電阻測試儀(智能回路電阻測試儀);FGSZR10A智能變壓器直流電阻快速測試儀;SHQJ36S2智能高精度直流小電阻測試儀;TAIOUPC36電線電纜直流電阻測試儀;TAIOUPC57成盤電纜直流電阻測試儀;HUAYISH1941數(shù)字式微歐計;M13252交直流兩用微歐計;SHSZ82片狀薄層微小電阻測試儀;DQ系列導體電阻測量夾具





四子王旗|
屏东市|
北宁市|
高青县|
新郑市|
漯河市|
东乌珠穆沁旗|
盘山县|
江永县|
鄯善县|
武胜县|
田阳县|
大连市|
含山县|
兰溪市|
紫金县|
廊坊市|
宿州市|
敦化市|
南安市|
南昌市|
灵璧县|
迁安市|
伊金霍洛旗|
鲜城|
延安市|
温宿县|
黔南|
大新县|
双桥区|
南充市|
手游|
香格里拉县|
伊春市|
鸡西市|
伊宁市|
南和县|
红原县|
河源市|
化州市|
吉安县|