羅茨式真空泵（簡稱羅茨泵）是一種無內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡谩Ｊ抢脙蓚€8字形轉(zhuǎn)子在泵殼中旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的。其原理和羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于它在低壓力范圍內(nèi)工作，氣體分子自由程較大，氣體漏過微小縫隙的阻力很大，因而能獲得較高的壓縮比，可以作為增壓真空泵使用；但它不能單獨(dú)地把氣體直接排到大氣中去，需要和前級真空泵串聯(lián)使用，被抽氣體通過前級真空泵排到大氣中去。


   羅茨泵的特點(diǎn)是：1．轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙，互不接觸，不需要用油潤滑。2．轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，可以提高轉(zhuǎn)速，從而能夠制造出結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵來。3．泵工作時振動小，容積大，容積利用系數(shù)＝0.5左右。4．在泵腔內(nèi)并不發(fā)生像機(jī)械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象，因此它不需要排氣閥。也正因如此，可抽除可凝性蒸汽。5．啟動快，能夠在短時間內(nèi)達(dá)到極限真空。功率小，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。6．羅茨泵在很寬的壓力范圍內(nèi)（1000P a～1P a）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補(bǔ)了擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵在（1000Pa～1Pa）時抽速都很小的缺陷。因此，它適合作增壓泵用。
    羅茨泵廣泛用于真空冶金工業(yè)的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理，以及空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體。也可以用于化工、食品、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等生產(chǎn)過程。
    工作時，被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入轉(zhuǎn)子與泵體之間，這時一個轉(zhuǎn)子和泵體把氣體與進(jìn)氣口隔開，被隔開的氣體（如圖上影線部分所示），在轉(zhuǎn)子連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn)過程中，被送到排氣口。空間是處在封閉狀態(tài)，因此，沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子的峰部轉(zhuǎn)到排氣口邊緣時，由于V部分的壓力較之排氣口處的壓力低，為了使相連體積內(nèi)壓力均勻，氣體就會從排氣口處擴(kuò)散到V區(qū)域，其擴(kuò)散方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。當(dāng)轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)動時，把V處的氣體壓縮到排氣口將其排出。這時轉(zhuǎn)子的另一面與進(jìn)氣口相連部分則吸入氣體，當(dāng)轉(zhuǎn)子不斷地旋轉(zhuǎn)時，重復(fù)上述抽氣過程不斷地排出流進(jìn)來的氣體。這種工作過程相當(dāng)于轉(zhuǎn)子空間由某一小值增加到大值，然后再由大值減小到小值。這就是羅茨真空泵的容積作用原理。
    羅茨泵在入口壓力很低情況下工作時，由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高，轉(zhuǎn)子表面的線速度接近于分子的熱運(yùn)動速度，這時碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子被轉(zhuǎn)子推帶到壓力較高的排氣口，再被預(yù)真空泵排除。這就是羅茨真空泵的分子作用原理。