
產(chǎn)品特性:
采用高精度南非花崗巖底座和立柱,確保機臺擁有的高穩(wěn)定性和精確度;
采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置,確保工作臺回程誤差在2um以內(nèi);
采用高精度儀器光學(xué)尺配合精密工作臺,確保機臺精度在≤2+L/200um以內(nèi);
采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色相機,確保畫質(zhì)清晰無畸變;
采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源,以及內(nèi)置智能燈光調(diào)節(jié)模塊,可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度;
Z軸采用高精度直線導(dǎo)軌和伺服電機控制系統(tǒng),實現(xiàn)自動對焦,消除人為聚焦誤差,提升測量精度和穩(wěn)定性;
功能*的iMeasuring2.2影像測量軟件,提升品質(zhì)管控到新的臺階;
可選進口接觸式探針和三維測量軟件,輕松將機臺升級成為接觸式三次元測量機;
可選FexQMS測量數(shù)據(jù)分析及和實時監(jiān)控軟件,提升制程控制、降低物料耗損。
主要技術(shù)參數(shù):
| 儀器型號 | ESNANO-2010F | ESNANO-2515F | ESNANO-3020F | ESNANO-4030F | ESNANO-5030F |
| 儀器貨號# | 521-140F | 521-150F | 521-160F | 521-170F | 521-180F |
| 金屬工作臺 | 408x308mm | 408x308mm | 458x358mm | 608x470mm | 708x470mm |
| 玻璃工作臺 | 306x198mm | 306x198mm | 356x248mm | 456x348mm | 556x348mm |
| X/Y軸行程 | 200x100mm | 250x150mm | 300x200mm | 400x300mm | 500x300mm |
| Z軸 | 高精度直線導(dǎo)軌和伺服電機控制系統(tǒng),有效行程200mm | ||||
| X/Y/Z軸分辨率 | 0.0005mm | ||||
| X/Y軸精度 | ≤2+L/200(um) | ||||
| 重復(fù)精度 | 2um | ||||
| 底座和立柱 | 高精度花崗巖 | ||||
| 照明系統(tǒng)(軟件調(diào)控) | 表面4環(huán)8區(qū)無級可調(diào)LED冷光源,每區(qū)可獨立調(diào)控 | ||||
| 透射LED平行(面)光源 | |||||
| LED鐳射導(dǎo)航指示燈 | |||||
| CCD | 高分辨率700TVL彩色CCD | ||||
| 變焦物鏡 | 6.5X高分辨率定格定倍變焦物鏡 | ||||
| 光學(xué)放大倍率:0.7X~4.5X倍;視頻放大倍率:26X~172X | |||||
| 工作環(huán)境 | 溫度:20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr | ||||
| 濕度:30% ~80%RH | |||||
| 震動<0.002g,低于15Hz | |||||
| 測量軟件 | iMeasuring 2.2 | ||||
| 操作系統(tǒng) | 支持XP,WIN7,WIN8.1,WIN10,32/64位操作系統(tǒng) | ||||
| 操作語言 | 英文、簡體中文、繁體中文,可增加其他語言版本 | ||||
| 外形尺寸(WxDxH) | 790x617x1000mm | 790x617x1000mm | 838x667x1000mm | 1002x817x1043mm | 1002x867x1043mm |
| 凈重 | 175Kg | 175Kg | 185Kg | 350Kg | 380Kg |





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