真空 泵選型干式真空泵的定義與分類真空 泵選型干式真空泵的定義與分類

真空泵選型-干式真空泵很早就出現(xiàn)了，但沒有明確的定義。就代替油封式機(jī)械泵來說，一般通用的說法是：能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內(nèi)工作；在泵的抽氣流道(如泵腔)中，不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通，能連續(xù)向大氣中排氣的泵，即稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。
現(xiàn)在市場上提供的干式泵種類很多。就其基本原理來分，只有兩類，即：
① 容積式的干式真空泵, 例如多級羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1～10Pa, 抽速為0.01～0.04m3/s。
② 動量傳輸式的無油真空泵，如渦輪式無油泵。排氣側(cè)與大氣相接，在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵，可從大氣壓抽到1022Pa。在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10^-2Pa, 抽速為0.02～0.15m3/s。牽引型干式泵也屬于動量傳輸式的干式泵。
真空泵選型-這些干式泵和油封式機(jī)械泵相比，達(dá)到同樣的極限壓力，其殘余氣體成分則全然不同,經(jīng)分析結(jié)果明，油封泵的殘余氣體，CnHm氣體(碳?xì)浠衔餁怏w)為其主要成分，而干式泵的殘余氣體為空氣的組成成分。這就證實了干式泵的抽氣不再有油的污染了。
有些干式泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計上，如泵的傳動齒輪和軸承等仍在使用潤滑油，也有用合成油，如PFPE油和其他油脂等，并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內(nèi)不存在，嚴(yán)格來說不是全無油的泵，但經(jīng)分析，這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的，并無影響。
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